来源:全球半导体观察 原作者:奉颖娴
ai应用浪潮之下,高性能存储器需求持续攀升,以hbm为代表的dram风生水起。同时,为进一步满足市场需求,存储厂商也在酝酿新一轮dram技术“革命”。
韩媒消息,近期三星电子副总裁柳昌植对外表示,三星下一代dram技术进展良好,除了1b dram正在顺利量产之外,4f square dram技术也在顺利开发,计划在2025年开发出4f square dram的初始样品。
资料显示,4f square是三星开发的下一代dram技术,其中“f”是特征尺寸(feature size),用以衡量dram单元中晶体管等组件尺寸;“square”则用于衡量向单元中的晶体管施加电压的组件面积大小。
业界表示,早期dram单元结构是8f square,目前商业化的dram主要采用6f square,与上述两项技术相比,4f square采用垂直信道晶体管 ( vct:vertical channel transistor ) 结构,可将芯片表面积减少30%。dram密度与性能随着单元面积的减小而提升,因此ai等应用推动之下,4f square这项技术也逐渐受到存储大厂的青睐。
此前三星表示,许多公司正努力将技术过渡到4f square vct dram,不过需要克服一些困难,包括开发氧化物沟道材料和铁电体等新材料等。业界认为,2025年三星4f square dram的初始样品或为对内发布,另一家半导体厂商东京电子预估,采用vct和4f square技术的dram将在2027年至2028年出现。
图片来源:东京电子
除此之外,早前媒体还报道,三星计划应用混合键合(hybrid bonding)yb体育app官网的技术支持4f square dram的生产,混合键合是下一代封装技术,指的是芯片垂直堆叠,能提高单元密度,进而提高性能,该技术也将对hbm4以及3d dram带来影响。
ai时代下,hbm尤其是hbm3e在存储器市场发展如鱼得水,引发三大dram原厂争相布局。同时,新的较量也开始打响,主要围绕下一代hbm4技术展开。
图片来源:sk海力士
今年4月sk海力士已经宣布将携手台积电共同开发hbm4。据悉,两家公司将首先致力于针对搭载于hbm封装内最底层的基础裸片(base die)进行性能改善。hbm是将多个dram裸片(core die)堆叠在基础裸片上,并通过tsv技术进行垂直连接而成;为专注下一代hbm4技术的开发,三星已经成立了新的“hbm开发团队”。7月,三星电子存储部门新事业企划组组长choi jang-seok透露,公司正在开发单堆栈达48gb的大容量hbm4内存,预计明年投产。近期,媒体报道,三星计划使用4nm先进制程工艺生产hbm4 逻辑裸晶(logic die);美光则规划2025年—2027年推出hbm4 ,而到2028年则正式步入hbm4e。
除了生产工艺之外,dram原厂针对未来hbm,还在积极布局混合键合技术。相较现有键合工艺,混合键合无需在dram内存层间添加凸块,而是将上下两层直接铜对铜连接,可显著提高信号传输速率,更适应ai计算对高带宽的需求。
今年4月,媒体报道三星成功制造了基于混合键合技术的16层堆叠hbm3内存,该内存样品工作正常,未来16层堆叠混合键合技术将用于hbm4量产;sk海力士计划于2026年在其hbm生产中采用混合键合;此外,美光也正着手开发hbm4,会考虑采用包括混合键合在内等相关技术,目前一切都在研究中。
3d dram(三维动态随机存取内存)是一种具有全新存储单元结构的dram技术,不同于传统dram水平放置存储单元,3d dram通过垂直堆叠存储单元的方式,可显著提高单位面积内的存储容量并带来更高的效率,因而被视为下一代dram发展的关键。
传统dram与3d dram比较(图片来源:应用材料)
存储器市场中,3d nand flash早已实现商业化应用,3d dram技术则仍处于研发阶段。不过,随着ai、大数据等应用快速发展,高容量、高性能存储器需求也将攀升,未来3d dram有望成为存储器市场主流产品之一。
hbm技术开启了dram 3d化之路,让dram从传统2d走向了3d,不过当前的hbm并不能被认同为3d dram技术。三星4f square vct dram与3d dram概念更为接近,但这不是3d dram唯一的方向与目标,存储厂商对3d dram有着更丰富设想。
三星计划2030年实现3d dram商业化发展,2024年三星对外展示了两项3d dram技术,包括vct和堆叠dram(stacked dram),三星首先引入vct技术,之后升级到堆叠dram,将多组vct堆在一起,以持续提升dram容量与性能。针对堆叠dram,三星表示,其可充分利用z轴向空间,较小面积容纳更多存储单元,单芯片容纳提升至100gb以上。今年5月,三星表示,包括三星在内的一些公司已经成功制造出16层3d dram,他同时强调,现阶段公司不准备大规模生产3d dram产品。3d dram预计将通过晶圆对晶圆(wafer-to-wafer)等混合键合技术来制造,同时三星也在考虑把bspdn(背面供电网络)技术应用于3d dram。
美光方面,据业界爆料,美光提交了与三星不同的3d dram专利申请,计划在不放置cell的情况下改变晶体管和电容器的形状。
sk海力士方面,6月韩媒businesskorea报道,sk海力士5层堆叠的3d dram的制造良率已达56.1%。这意味着在单个测试晶圆上制造的约1000个3d dram中,约有561个可行器件被生产出来。实验性的3d dram显示出与目前使用的2d dram相似的特性,业界表示,这是sk海力士首次披露其3d dram开发的具体数字和特性。
除此之外,美国neo半导体公司(neo semiconductor)也在布局3d dram。去年,neo半导体宣布推出全球首款3d dram原型:3d x-dram。该技术与3d nand flash类似,都是堆叠层数提高内存容量,有良率高、成本低、密度大幅提升等优点。
图片来源:neo半导体
neo半导体表示2025年将推出第一代3d x-dram就有230层堆栈,核心容量128gb,相较2d dram内存16gb容量,提升数倍。
封面图片来源:拍信网