东莞一条tgv板级封装线投产-yb体育app官网

据东莞广播电视台报道，7月19日，三叠纪（广东）科技有限公司（以下简称“三叠纪”）tgv板级封装线投产仪式在松山湖举行。

三叠纪tgv板级封装线产线，是国内第一条tgv板级封装全自动化生产线，也是国内目前唯一一家同时拥有玻璃基晶圆和板级封装线的公司。该生产线高度集成搬运、传输、制造和检测，年产3万片510*515mm玻璃封装基板。整条产线涉及关键设备包括高速激光诱导装备，成孔效率5000孔/秒，还包括全自动化板级清洗设备、全自动aoi检测仪和板级研磨抛光等重要设备，面向未来，tgv基板将广泛应用于3d集成半导体封装。

yb体育app官方下载官网资料指出，三叠纪是成都迈科科技有限公司的全资子公司，该公司致力于后摩尔时代三维集成微系统关键材料与集成技术，在行业内率先提出tgv3.0，首次突破亚10微米通孔和填充技术。该公司先后获得成都技转、成都科服、院士基金、帝尔激光、一盏资本等战略投资。

2022年，三叠纪在东莞松山湖建成tgv基板与三维集成封装中试线，并参与组建“集成电路与半导体特色工艺战略科学家团队”，成为国内具有显著特色和优势的tgv研发与生产基地。

目前，三叠纪已形成tgv工艺服务、ipd无源集成器件、3d微结构玻璃和tgv特色工艺装备的四类产品体系，主要应用在先进三维系统封装、高q微波/thz器件、光学/射频mems、微流控芯片等领域，已经为中国电科、肖特玻璃、华为、康佳光电、京东方等企业供货。

信息显示，tgv中文译为玻璃通孔，即穿过玻璃基板的垂直电气互连。tgv 以高品质硼硅玻璃、石英玻璃为基材，通过种子层溅射、电镀填充、化学机械平坦化、rdl再布线，bump工艺引出实现3d互联。因此被视为下一代先进封装集成的关键技术。

封面图片来源：拍信网