中国台湾地区半导体产业强化布局euv技术，引发韩国三星警戒-yb体育app官网

来源：科技新报 2021-09-03 16:53:23

相较韩国半导体产业最早开始采用euv光刻技术，相关产业存储器与晶圆代工时程相对落后。但韩国媒体《business korea》报导，近期中国台湾地区半导体企业加紧投资euv光刻技术，进一步扩大竞争优势。

目前投资中国台湾地区最大外商的美商存储器大厂美光科技，除决定今年底美国总部安装asml最新曝光设备nxe：3600d，美光还计划在台中dram工厂安装相同euv光刻设备。代表美光科技将在中国台湾地区生产第一颗euv技术dram，并持续增加投资。

除了美光科技积极部署euv光刻技术，全球dram产业排名第四大的南亚科技也于4月宣布，投资3000亿元新台币在新北市兴建含euv光刻设备的dram产线，预计2024年量产营运。

晶圆代工龙头台积电的euv光刻设备产业影响力也有增加。今年第二季起，采用euv光刻设备的7纳米及更先进制程技术占公司总营收49%，正从曝光设备厂商asml采购更多euv光刻设备，增加研发投入。包括台积电自行生产euv光罩，以提升良率和制程效率。

韩国三星是全球首家采用euv光刻技术的半导体企业，并在2019年首次量产，如今大规模发展euv技术的还加上美光科技、台积电等中国台湾地区半导体企业。韩国市场专家指出，基础设施持续扩张，预计为中国台湾地区半导体产业带来更强大的竞争优势。

封面图片来源：拍信网

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