来源:iwaps 2023
近年来,集成电路产业已经成为世界各国越来越重视的战略性产业,尤其在中国,集成电路产业受到了前所未有的关注,并在政策和资本的推动下获得了蓬勃发展。基于这样的形势,国际先进光刻技术研讨会(international workshop on advanced patterning solutions, iwaps)应运而生。iwaps为来自国内外半导体工业界、学术界的资深技术专家和优秀研究人员等提供了一个技术交流平台,参会者可以就材料、设备、工艺、测量、计算光刻和设计优化等主题分享各自的研究成果,探讨图形化yb体育app官方下载的解决方案,研讨即将面临的技术挑战。
自2017年以来,iwaps已经在全国各地成功举办六届。会议投稿、会议报告与参会人数逐年增加,行业反响热烈,业已成为国内高端光刻技术领域的重要会议。此外,iwaps自2020年起已被ieee收录,接收论文将被送检ieee xplore与ei。欢迎大家踊跃报名、投稿!
第七届iwaps将于2023年10月26-27日于浙江丽水举行,欢迎各位学术和产业届的朋友莅临指导,积极投稿演讲,参会名额有限,有意者请及时报名参会
yb体育app官方下载官网报名链接:
扫码报名:
(手机扫描二维码,通过邀请函报名)
中国集成电路创新联盟
中国光学学会
中国科学院微电子研究所
丽水经济技术开发区管理委员会
浙江富浙资本管理有限公司
广东省大湾区集成电路与系统应用研究院
南京诚芯集成电路技术研究院
iwaps 2017 北京
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iwaps 2018 厦门
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iwaps 2019 南京
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iwaps 2020 成都
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iwaps 2021 佛山
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iwaps 2022 北京 线上
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i. optical lithography
ii. extreme ultraviolet (euv) lithography
iii. advanced patterning technologies
iv. metrology, inspection and testing
v. design and technology co-optimization and design for manufacturability
vi. materials
vii. process
iwaps 2020:
https://ieeexplore.ieee.org/xpl/conhome/9286788/proceeding
iwaps 2021:https://ieeexplore.ieee.org/xpl/conhome/9670881/proceeding
iwaps 2022:
https://ieeexplore.ieee.org/xpl/conhome/9971792/proceeding
iwaps 2023 会议筹备工作已经展开
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封面图片来源:拍信网