中芯联手两大基金进展至14nm，现实与挑战如何应对？-yb体育app官网

不久前，中芯国际宣布公司联手两大政府基金，共同投资102.4亿美元以加快14nm技术发展，中国国家集成电路产业基金(俗称大基金)、上海集成电路产业基金将入股其子公司中芯南方。

中芯南方主营集成电路芯片制造、针测和凸块制造等业务，为中芯国际发展14nm及以下先进制程的12英寸晶圆厂。获得资本支持的中芯南方，预期将专注研发14nm及以下制程技术，并扩大产能，目标产能为每月3.5万片晶圆。

先巩固28nm hkmg制程良率，再投入14nm较为妥当

28nm晶体管闸极架构分成两种，一是poly/sion架构，但其闸极氧化层太薄因此有漏电流缺点，应用于较低阶市场；另一种是hkmg架构，此架构比poly/sion能耗低30%左右，不仅漏电流问题改善，且可做出更小的晶体管，因此下世代制程基本上是以此结构进行改良。

目前中芯最先进的28nm制程是poly/sion架构，简言之，中芯要进展至14nm，在研发端必须先克服28nm hkmg挑战，缺乏28nm hkmg开发经验直接挑战14nm并不太现实。

因此将研发能量集中在开发相对于14nm难度较低的28nm hkmg，并以此基础再接续14nm研发，以减少研发过程中不必要的时间浪费是较为妥当方式。

着力于培养制程经验丰富的基层团队最有助于良率稳定

现阶段中芯28nm良率尚未稳定，表示在既有制程的管理上仍有些问题尚未克服，毕竟先进制程是站在既有制程的基础上才得以稳定发展，而制程优化是一连串问题发现及流程改善反覆不断交替的过程，非常需要经验累积。

如果以缺乏28nm hkmg制程经验的状态挺进14nm，在遭遇良率不佳或良率不稳的情形时，将造成工程人员在维持良率稳定时不易分辨问题的真正来源，使得复杂的除错过程影响经验的累积速度。

以台积电为例，台积电在先进制程的良率表现优异主要来自长期累积的制程经验，以此经验规划严格的管理机制及流程，更重要的是培养出经验丰富的基层员工团队，此管理经验是相当值得中芯借鉴的。

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