来源:technews科技新报
根据《路透社》的报导,日本光学大厂尼康(nikon)于24日表示,已对荷兰半导体设备大厂艾司摩尔(asml holding nv)和yb体育app官方下载的合作伙伴卡尔·蔡司(carl zeiss ag)提起法律诉讼,并表示asml及carl zeiss两家公司在未经nikon的许可下将其微影(lithography)技术专利用于光刻机上,并运用在半导体制造业中。
报导进一步表示,世界第8大芯片设备制造商nikon在24日指出,已经在荷兰、德国和日本针对生产半导体光刻机的荷兰厂商asml和旗下光电供应商carl zeiss提起了专利侵权案件。nikon在一份声明中指出,asml和carl zeiss在没有得到许可的情况之下,采用了nikon的专利技术,运用在asml的光刻机中。而光刻机是用在全球的半导体制造业中先进制程不可缺少的设备,如此以进一步侵犯了nikon的专利。nikon表示,正在寻求损害赔偿,并防止asml和carl zeiss出售该技术。
目前在全球的半导体设备市场中,asml主导半导体光刻机的产品。根据惠誉评级(fitch ratings)在2017年1月份的一份研究报告中指出,这家荷兰公司在这样的高端的半导体设备中,占有90%的市场占有率。而根据asml在19日所公布的2017年第1季财报显示,第1季营收净利达19.4亿欧元,毛利率为47.6%,euv极紫外光微影系统的未出货订单则累积到21台,价值高达23亿欧元。而且预估asml在2017第2季营收净利将落在19到20亿欧元之间,毛利率约为43%到44%。
asml的总裁兼执行长peter wennink对于nikon所发起的诉讼表示,nikon所提起的诉讼不但不必要,还毫无根据。而且,这还将对于全球半导体产业造成不确定性。他进一步指出表示,asml已多次尝试与nikon协商延长交叉许可协议。
nikon则表示,法律诉讼是在由美国退休法官于2016年底进行的调解未成之后所决定发起的。而根据nikon的说法,提起诉讼的3项微影技术专利,asml和carl zeiss两家公司分别在2004年支付nikon 8,700万美元和5,800万美元的授权金。授权期限在2009年到期,而2014年底其专利权的过渡期也到期之后,双方在2016年底经过调解协商延长交叉许可协议未成。