三星旗下semes成功开发出一种arf-yb体育app官网
来源：全球半导体观察整理
6月24日，三星电子旗下的韩国半导体和显示器制造设备公司表示，第一台名为“omega prime”的设备已于去年供货，semes正在制造第二台设备。
semes表示，在omega prime设备上应用了喷嘴、烘烤温度和机器人位置自动调整系统，以消除涂布层的偏差。
目前，semes已制造出krf光刻涂胶/显影设备，并在此基础上开发了arf版本，以支持波长更短的新型光刻机。
封面图片来源：拍信网
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