来源:全球半导体观察整理
近日,上海凯世通半导体股份有限公司(以下简称“凯世通”)发布了面向cis的大束流离子注入机新产品。
据介绍,凯世通自主研发的适用于cis器件的低能大束流离子注入机,基于已批量验证的istellar通用注入平台与光路系统,设备成熟稳定,媲美进口先进机型,具备卓越的金属污染控制、高精度注入角度控制等特点。
凯世通市场销售副总经理张长勇表示,当前cis市场进入了蓬勃发展的时期,手机多摄头配置、汽车智能驾驶、vr/ar可穿戴设备、智慧安防、机器视觉等新兴应用催生cis市场不断壮大。cis产品对金属污染与注入角度有很高的要求,凯世通通过多项技术创新,满足了cis对离子注入机的技术要求。
封面图片来源:拍信网